Folgeprozesse: inelastische Streuung

Question 1

AUßerhalb der Probe gemessene Signale durch ..

Answer 1

• Erzeugung von SE
• Emission von Licht (Kathodolumineszenz)
• Erzeugung von Bremsstrahlung

-Zerfall angeregter Zustände:
Emission von char. X-rays
Emission von Auger-Elektronen

Question 2

Sekundärelektronen SE

• woher kommen sie
• Menge
• wozu genutzt

Answer 2

->aus Valenzband durch inelastische Streuprozesse
oder durch Ionenbeschuss
(oder noch Primärelektronen mit viel weniger Energie durch stöße)

nur Oberflächennah (< 5 nm), wg. geringer kin. Energie
-> treten aus Probe mit max. 50 eV aus

• > Verhältnis SE/PE kann größer als 1 sein
• > Bilderzeugung im REM oder ESMA

Question 3

Kathodolumineszenz

Answer 3

1) Elektron wird bei Kollision mit Strahlelektron aus Valenzband in Leitungsband gehoben
- -> Elektronenlochband

2) Auffüllen der Lücke mit Elektron mit gerinerer Bandlücke aus Defektzustand
- > Abgabe eines Photons nahe UV oder VIS Bereich

Question 4

Bremsstrahlung

= ..

Prozess

wofür und was bedeutet es für die Analyse

Answer 4

= kontinuierliches Röntgenspektrum

abbremsen von StrahlElektronen durch starkes el. Feld der Elektronen im Festkörper
–> emittieren dabei elektromagnetische Strahlung

-> im REM/ESMA (EDX) verantwortlich für Untergrundsignal und verschlechtert Nachweisgrenze für Elemente

Question 5

Zerfall angeregter Zustände:
Emission von char. X-rays

= ..

Prozess

mit was analysiert

Answer 5

Folgeprozess der Ionisation durch anregung innerer Schalen

1) Erzeugung eines Elektronenlochs durch ElektronenStroß (Kernnah)
2) Atom bekommt höheren Energiezustand
3) Abbau durch zurückfallen eines Elektrons aus höherer Schale
- -> dabei werden char. X-rays emittiert

mit EDX / WDX