ESMA Flashcards
1
Q
Anwendungsbereich
A
SE-Abbildungen (SekundärElektronen)
chemische Analyse (z.B. über WDX)
2
Q
Untersuchung Massiver Typen mit
A
REM/SEM
EPMA/ESMA
3
Q
Bauteile
ESMA
A
- Gun
- Condenser lenses
- Scan coils
- Detector: Rönten und Elektronendetektor
- > mit mehreren Wellenlängen dispersiven
- Specimen
- > auf weiten Strecken verschiebbare Probenbühne
4
Q
ESMA
Eigenschaften
A
- zerstörungsfreie quanititative chem. Analyse von Oberflächen massiver Proben (r ~ 1 μm)
- > abhängig von Anregung der X-ray mit Beschleunigungsspannung (Überspannung)
- EDX / WDX für char. X-rays
- WDX ab Ordnungszahl Be 4
- rel NAchweisgrenze ca 0,01 Gew% -> 10⁻14/10⁻15 g
5
Q
Aufbau ESMA -> unterschiede zum REM
A
ESMA hat:
- Strahlstromdetektor
- Optisches Mikroskop
- Kristallspektrometer für X-rays (WDX)
6
Q
Elektronensäule / Fokussierlinse(?)
- Bauteile
A
- mind. 3 Kondensorlinsen dazwischen spray aperture, final aperture und Objektivlinse
- für Abbildungen Ablenkspulen -> in abhängigkeit von Probenbühne (Specimen)
7
Q
Elektronensäule / Fokussierlinse(?)
-abhängigkeit zwischen Strahlstrom und laterale Auflösung
A
- starker Strahlstrom bzw großes Messsignal = schlechte laterale Auflösung
8
Q
Elektronensäule / Fokussierlinse(?)
- was machen Kondensorlinsen?
A
- werden angeregt über Stromstärke in Spule
und steuern so Strahlstrom und größe des Elektronenstrahls auf der Probe
9
Q
Elektronensäule / Fokussierlinse(?)
-steuerung der Position des Strahls
A
- über Rastereinheit aus Ablenkspulen (scanning coils)
- > NUR für Abbildungen mit SE und BSE
- > aus wenn WDX in Betrieb, weil da Stahl auf optischer Achse
10
Q
Faraday Becher / Strahlstromdetektor(?)
- was tut er
- auswirkungen bei änderung
A
-kontrolliert Strahlstrom in regelmäßigen abständen
- wenn schwankt, dann Intensität der char. X-rays würde sich ebenfalls ändern
- > kein quantitativer Vergleich von verschiedenen Probenstellen dann nicht möglich
11
Q
Lichtmikroskop / Optisches Mikroskop(?)
-Anwendungsbereiche
A
- Einstellen der Probenhöhe vor Messung
- > Schärfentiefe lässt auf richtige Position auf Rowlandkreis schließen
- Beobachtung der Probe z.B. bei Kathodolumineszenz
12
Q
Specimen / Probenhalter / Probenbühne
- was bekommt man dadurch
- Begrenzungen der laterale Auflösung
- Wann nicht angewendet?
A
- erhalten von Elementverteilungsbildern der Probe durch flächiges bewegen der Probenbühne
- Auflösung durch kleinste mögl. Verfahrstrecke UND Anregungsvolumen begrenzt (zweiteres ist beist größer)
- NICHT wenn Abbildungen mit SE/BSE
