Fotolitografia Flashcards
Da 69.1 a 73
Cosa è la fotolitografia
69.1
Fasi generali per fotolitografia
69.1
Substrato fotolitografia, chimica
70
Contaminanti wafer di silicio
70
Camere pulite, cosa sono, cosa hanno al loro interno, a che servono, classificazione
70
Come avviene la pulizia del wafer di silicio
Soluzione piranha e acetone, etanolo, isopropanolo
70
Disidratazione del wafer di silicio post pulizia in fotolitografia
70.1
Pretrattamento per favorire adesione del fotopolimero
70.1
Spin coating in fotolitografia
70.1
Soft-bake in fotolitografia
70.1
Fotomaschere a cosa servono. Diverse risoluzioni
71
Stampa di fotolitografia vera e propria
71
Post-exposure bake
71
Coating strato antiriflettente
71
Sviluppo delle stampe e diversi profili
71.1
Post-bake. Obiettivi e come avviene
72
Soft litography
72
Microcontact printing tecnica, vantaggi, svantaggi, dimensioni da considerare
72.1
Deposito proteico con microcontact printing
73
Post-bake per creazione di elementi curvilinei
72
