Difusão de impurezas Flashcards
1
Q
Parametros que definem uma região difusa
A
-Concentração á superficie
-Profundidade de junção
-Resistencia folha
Estes parametros não são independente, e merdas sobre as irvin curves
2
Q
Metodos de medição da resistencia Folha
A
Teste das 4 pontas
3
Q
Metodos de medição da profundidade de junção
A
Van der pauw
Cilindro de erosão
4
Q
Equipamento e tipos de fontes
A
fornalha horizontal com fonte liquida,sólida ou gasosa