Difusão de impurezas Flashcards

1
Q

Parametros que definem uma região difusa

A

-Concentração á superficie
-Profundidade de junção
-Resistencia folha
Estes parametros não são independente, e merdas sobre as irvin curves

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2
Q

Metodos de medição da resistencia Folha

A

Teste das 4 pontas

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3
Q

Metodos de medição da profundidade de junção

A

Van der pauw
Cilindro de erosão

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4
Q

Equipamento e tipos de fontes

A

fornalha horizontal com fonte liquida,sólida ou gasosa

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