Kapitel 6 - Fotolithografie Flashcards
Wie funktioniert eine Projektionsbelichtung?
Bei einer Projektionsbelichtung verwendet man ein Linsensystem um eine größere Maske auf ein viel kleineres Substrat zu projezieren. Vorteil: Masken können deutlich größer sein. Nachteil: Bei starker verkleinerung geringe Schärfentiefe. Abbildung nur in der Ebene (ca. 1 mikrometer dick) Keine dicken Lackschichten möglich.
Was versteht man unter Proximity Belichtung?
Unter Proximity Belichtung versteht man Beugungs- und Absorptionserscheinungen , die zu Strukturabweichungen führen.
Was versteht man unter Kontaktbelichtung?
Für eine Kontaktbelichtung wird zwischen Lack und Maske ein Vakuum erzeugt. Beugungserscheinungen werden dadurch minimiert. Jedoch muss die Maske nach jedem Durchlauf gewaschen werden und Staubkörner können bei diesem Vorgang das Substrat zerkratzen.
Beugung und Absorption am Beispiel einer Säule
Wie ist das Aspektverhältnis definiert?
A=H/B
Höhe durch kleinste Strukturbreite bzw. Strukturabstand
Was versteht man unter Grautonlithografie?
Sind die Strukturen auf der Maske kleiner, als die Wellenlänge des verwendeten Lichts, wird die Beleuchtungsstärke nur herabgesetzt und kein Schatten geworfen.
Hierdurch kann man Strukturen mit geringerer Höhe erzeugen.
Mit Grautonlithographie können in einem Schritt 3D-mensionale Strukturen hergestellt werden.
Grautonlithografie Skizze
Fotostrukturierung von Glas:
Durch Belichtung kommt es zu einer fotochemischen Reaktion zwischen cer und silber. Bei Wärmebehandlung kristallisiert der belichtete Teil des Glases aus.
In Fluss-Säure lösen sich die Belichteten Bereiche 15 - 30 mal schneller auf. Es lassen sich hohe Aspektverhältnisse bis 20 erzeugen.
Warum sind die Wände bei einer Fotostrukturierung von Glas relativ rau?
Die Rauigkeit liegt im Bereich von einigen mikrometern, da Glaskristalle diese Größe haben.
