W1 Flashcards
Jako podłoże układów scalonych używany jest krzem…
monokrystaliczny typu n lub p - zależy od rodzaju układów
Średnica płytki podłożowej wynosi…
30 cm
Epitaksja służy do…
Wytwarzania warstw monokrystalicznych np. krzemu na monokrystalicznym podłożu
Dyfuzja służy do…
Domieszkowania półprzewodnika
Do wytwarzania jakich warstw najlepiej nadaje się implantacja jonów?
Do wytwarzania warstw płytkich i słabo domieszkowanych.
Czy dwutlenek krzemu na krzemie jest elektrycznie obojętny?
Nie. Zawiera ładunek dodatni.
Co powoduje ładunek zgromadzony w dielektryku?
Powoduje zmianę koncentracji nośników
Co oznacza “tranzystor wzbogacany”? (Inaczej normalnie wyłączony)
Tranzystor MOS, w którym indukuje się kanał pod wpływem przyłożonego napięcia do bramki, większego co do wartości bezwględnej od napięcia progowego Ut.
Fotolitografia korzysta z promieniowania…
Dalekiego ultrafioletu
Koszt kompletu masek dla submikronowego układu scalonego wynosi…
Około pół miliona dolarów
Kolejność operacji technologicznych dla inwertera MOS z bramką polikrzemową
- Podłoże typu p
- Wytworzenie wyspy typu n
- Naniesienie tlenku polowego
- Naniesienie tlenku bramkowego
- Wytworzenie bramek polikrzemowych
- Wytworzenie obszarów bramki i źródła dla tranzystorów NMOS i PMOS
- Pokrycie dielektrykiem i wytworzenie okien kontaktowych - pokrycie metalem
Polaryzacja wyspy typu n względem podłoża typu p?
Polaryzacja zaporowa - wyższy potencjał na wyspie