Kính hiển vi điện tử quét (SEM) - Scanning Electron Microscope)

Question 1

Khái niệm của SEM?

Answer 1

1 loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phân giải cao của bề mặt mu vật = cách sd 1 chùm điện tử hẹp quét trên bề mặt mẫu. Việc tạo ảnh của mẫu được t/hiện thông qua việc ghi nhận và ptích các bức xạ phát ra từ tương tác của chùm điện tử vs bề mặt mẫu vật

Question 2

Nguyên lý hoạt động của SEM?

Answer 2

• Chùm điện tử được phát ra từ súng phóng điện tử sau đó được tăng tốc & hội tụ thành một chùm điện tử hẹp nhờ hthống thấu kính từ, sau đó quét trên bề mặt mẫu nhờ các cuộn quét tĩnh điện.
• Độ phân giải của SEM được xđịnh từ kthước chùm e hội tụ, mà kthước của chùm e này bị hạn chế bởi quang sai, chính vì thế mà SEM ko thể đạt được độ phân giải tốt như TEM
• Độ phân giải của SEM còn phụ thuộc vào tương tác giữa vliệu tại bề mặt mẫu vật & e. Khi e tương tác với bề mặt mẫu vật, sẽ có các bức xạ phát ra, sự tạo ảnh trong SEM và các phép phtích được t/hiện thông qua việc ptích các bức xạ này. Các loại bức xạ chủ yếu:
  + Điện tử thứ cấp
  + Điện tử tán xạ ngược

Question 3

Ưu, nhược điểm của SEM là gì?

Answer 3

• Ưu điểm:
  + Phân tích không phá hủy mu, làm việc ở mt c/không thấp
  + Thao tác điều khiển đơn giản dễ sdụng.
  + Giá thành thấp hơn nhiều so với TEM, nên phổ biến hơn.
• Nhược điểm:
  + Không thể biết được ctrúc chi tiết hình thái học.
  + Xác định độ gồ ghề ko chính xác