1.7 Deposición de películas delgadas Flashcards
¿Qué es la deposición?
proceso termodinámico en el cual, un gas se transforma a un sólido sin pasar por su estado líquido.
La deposición de estas películas más utilizada es de materiales cerámicos
Una película delgada confina a los electrones en dos dimensiones. Produciendo efectos en la energía de absorción del material, por ello, las películas delgadas son la base sobre la que se crecen distintos metales u óxidos sobre las áreas seleccionadas de la película, para obtener finalmente los queridos <3 microdispositivos.
ya me dió sueño compas, solo léanlo :v
Métodos físicos
Evaporación (al vacío, reactiva, por haces de electrones,…)
Epitaxia de haces moleculares (MBE, «Molecular Beam Epitaxy»)
Métodos físico-químicos
«Sputtering» (de diodo, reactivo, de polarización, magnético,…)
Procesos de plasma (multimagnético, MIBERS, ECR, ablación).
Procesos térmicos de formación (oxidación, nitruración, polimerización,…)
Métodos químicos en fase gaseosa
Deposición química en fase vapor (CVD) (MOCVD, APCVD, LPCVD, PHCVD, LCVD, PECVD)
Epitaxia en fase vapor (VPE, «Vapour Phase Epitaxy»).
Implantación iónica
Métodos químicos en fase líquida
Electrodeposición (anelectrolítica, anodización, por desplazamiento, por reducción, electroforética,…).
Procesos de plasma (multimagnético, MIBERS, ECR, ablación).
Epitaxia en fase líquida (LPE, «Liquid Phase Epitaxy»).
Técnicas mecánicas (inmersión, centrifugación, pulverización,…)
Ejemplos de deposición en relación a electrónica
Células solares
Conexiones eléctricas
Conducción eléctrica
Dispositivos semiconductores
